低温等离子体分解油雾、废气等污染时，等离子体中的高能离子起着决定性作用。

流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被解脱。

当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器附场的作用下被收集。

在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生各类的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度以及共存的介质成分。